原子层沉积系统项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称：原子层沉积系统
1.2 招标编号：0779-25400341A058
1.3 项目概况：
该原子层沉积系统用于 MEMS制造领域，在 6 英寸和 8 英寸晶圆上实现 Al?O?（氧化铝）、TiN（氮化钛）等材料的高质量沉积。设备应具备高均匀性、高台阶覆盖能力（深宽比≥5:1），满足复杂三维结构薄膜沉积的需求。
原子层沉积系统由反应腔、预真空腔、真空抽气系统、前驱体源管路系统和控制系统等组成。
主要技术指标：
适用于6英寸和8英寸晶圆；
具备沉积Al2O3、TiN的能力；
阶梯覆盖（深宽比5:1）：≥90%；
膜层沉积均匀性：≤5%；
更多技术指标详见第八章。
1.4 数量：1台。
1.5 交货期：合同签订后8个月内交货。
1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。
2.3本项目不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构
3. 招标文件获取
3.1 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。
3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。
4.
未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在 招标会员 区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
咨询电话：010-51957458
手 机：18811547188
联系人：李杨
QQ:1211306049
微信：Li18811547188
邮箱：1211306049@qq.com
来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术及商务信息服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，
招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准。
编辑：ebid.eavic
